旋涂机烘烤灯

在光刻车间，烘烤不是暂停——而是一条分界线。软烘烤用于驱散光刻胶中的溶剂。硬烘烤则是在蚀刻前固定掩膜图像。如果灯管开始漂移，后果很快显现：临界尺寸不均匀、边缘珠及显影后残渣。这就是旋涂烘烤灯的存在意义——将热处理的不确定性剔除。 内部关键技术 我们采用短波红外光源，封装在石英管中，因为它能快速将能...