在光刻工艺中，烘烤温度只要出现0.5°C的偏差，就足以导致整批产品报废。所谓“软烘烤”，其实就是让溶剂充分蒸发；而“硬烘烤”则是为了固定产品的尺寸参数。一旦温度均匀性出现问题，CD控制就会失灵，颗粒数量也会随之增加。 我们的解决方案及其重要性 我们采用了带有石英增强的短波近红外发射器的烘烤模块。这...

在光刻车间，烘烤不是暂停——而是一条分界线。软烘烤用于驱散光刻胶中的溶剂。硬烘烤则是在蚀刻前固定掩膜图像。如果灯管开始漂移，后果很快显现：临界尺寸不均匀、边缘珠及显影后残渣。这就是旋涂烘烤灯的存在意义——将热处理的不确定性剔除。 内部关键技术 我们采用短波红外光源，封装在石英管中，因为它能快速将能...