RTP系统灯的最佳价格

在晶圆厂车间，软烘烤或硬烘烤过程中温度漂移半度就足以破坏线宽控制和CD均匀性。热预算没有讨价还价的余地。当RTP灯偏离设定参数时，损失不仅仅是灯具成本，更包括报废和返工费用。 我们制造的RTP灯具——短波、中波及碳纤维基灯——能够在工艺窗口内保持晶圆级温度均匀性在±0.1°C以内。石英部件和密封组...