半導体製造工場で炭素排出量を削減したいのであれば、古い加熱方式を見直す必要があります。それらは時代遅れです。最も大きなメリットは、重くて使いづらい対流式オーブンを廃止し、効率的な赤外線加熱に切り替えることです。 空気を加熱するのはやめよう 伝統的な加熱方式は無駄が多いです。部品を熱するために、チャ...

実際に重要な場所により多くの熱を与える：金メッキされたIRエミッター シリコンウェーハを加熱する際、わずかなエネルギーも無駄にできません。通常のIRエミッターの問題点は、熱が漏れ出してしまうことです。加えられた熱の大部分がランプの背面から逃げてしまい、結果として電力が無駄に消費され、装置が不要に加...

破片の発生を防ぐ：赤外線ヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 正直に言えば、ウェーハの加工において、1つのヒーターが故障するだけで、その日の作業は台無しになってしまいます。また、製造されるシリコンの全ロットも台無しになります。 高負荷での生産を行う際、実質的には赤外線ヒーターに過度な負...

ファブ内での炭素排出を削減する：なぜ真空型赤外線ヒーターが有効なのか 半導体を製造するには、さまざまな要素のバランスを取る必要があります。極端な高温が必要ですが、ウェーハが損傷しないように、真空状態で加熱する必要があります。長年にわたり、抵抗加熱が使われてきましたが、正直なところ、これは効率が悪い...

空気を加熱するのはやめよう：ウェーハを処理するためのより効率的な方法 従来の抵抗式オーブンについて話しましょう。確かに機能はしますが、実際には巨大なヘアドライヤーのようなものです。ウェーハを適切な温度にするために、チャンバー全体やその中の空気を加熱するのに莫大なエネルギーが必要です。これは無駄遣い...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、サーモスタットだけに頼ってはいけません。クラス100の環境では、加熱要素から出るごくわずかなほこりが、全体の製品を台無しにしてしまう可能性があります。これは本当に厄介な問題です。 そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用して...

赤外線ヒーターで適切な光の強度を実現するには 赤外線ランプを設計する際には、バランスを取る必要があります。十分な熱を供給したい一方で、それに伴う光の問題も注意しなければなりません。 例えば、子供部屋や、幼い動物を育てている場所を考えてみてください。そうした場所では、強烈な青色の光や紫外線は単に迷惑...

なぜ、私たちはIP66等級のヒーターを厳しい環境下でテストするのか？ 実際、バスルームというのはヒーターにとって最悪の環境です。濃厚な蒸気があり、水が直接吹き付けられる上、温度も数分以内に極端に変動します。 もちろん、仕様書に記載されているIP66等級を見れば済む話です。しかし、紙面上の数字だけで...

MEMSウェーハを問題なく乾燥させる方法 MEMSセンサーを製造する際、最も避けたいのは、水分や溶剤の汚れが製品の品質を損なうことです。しかし、問題は、ウェーハを完全に乾燥させつつ、材料に負担をかけず、また不純物が混入しないようにすることです。 そこで、私たちは短波長の赤外線ヒーターを使用します。...

なぜバスルーム用のヒーターが頻繁に壊れてしまうのか（そして、どうすればいいのか） 昔から使われているハロゲンランプ式のヒーターは、ちょうど使いたいときに壊れてしまうことが多いですよね。一般的には、水蒸気や水分がヒーターの内部に入り込み、短絡を引き起こし、結果としてフィラメントが破損してしまいます。...

私たちは、すべてのセンサーを徹底的にテストします。例外はありません。 ウェーハ製造の世界では、わずかな電気漏れがあっただけで、一括して生産されたシリコンが廃棄処分になってしまいます。それは誰も望まない最悪の事態です。 そのため、私たちは「バッチサンプリング」を行いません。数個だけをテストして運を天...

外がとても寒い時に、どうやってペルゴラを暖かく保つか？ もし、屋外のペルゴラや換気の悪い更衣室を暖めようとしたことがあるなら、その大変さはわかるでしょう。ヒーターをつけても、風がその温かい空気をすぐに持って行ってしまいます。本当にイライラしますよね。 だから私たちは、空気を暖めることはせず、代わり...

ウェーハ型バイオセンサーに適切なIR加熱を実現するために ウェーハ上にバイオセンサーを作るとき、加熱の精度が非常に重要です。もし加熱のパターンが適切でなければ、無駄に電力を消費するだけで、均一に加熱されるかどうかは運次第です。これは大変な問題です。 そこで、私たちは金コーティングされた反射板を使用...

なぜクリーンルーム用トロリーで強制送風を使うのをやめるべきか 半導体の高度な処理ラインで働いたことがある人なら、この状況はよく分かるでしょう。ほとんどの場合、ウェーハや基板を適切な温度に保つために、依然として熱風を利用しています。 確かにこれでも機能しますが、速度が遅いのです。 最大の問題は「時間...

次世代半導体加熱装置に適した温度データの取得方法 スマートな工場を構築するにあたり、単純な温度監視だけでは不十分であることに気づいているはずです。実際にPLCとリアルタイムで連携し、詳細なデータを提供してくれるシステムが必要です。そうすれば、推測に頼らずに適切な対応が可能になります。半導体加熱の分...