왜 금이 귀하의 적외선 시스템에 중요한가요?
실리콘 웨이퍼를 가열할 때 에너지가 낭비된다면, 그건 설계상의 문제입니다. 대부분의 일반적인 반사체는 에너지를 사방으로 흩뿌립니다. 하지만 우리는 다르게 접근합니다. 오존이 없는 적외선 램프에 금으로 코팅된 반사체를 사용함으로써, 에너지가 실제로 웨이퍼에 도달하도록 합니다. 그래서 기계 내부만 뜨거워지는 것이 아니라 웨이퍼 자체가 가열됩니다.
금의 장점
금은 장파 및 중파 적외선을 반사하는 능력이 훨씬 뛰어납니다. 알루미늄도 저렴하기 때문에 많이 사용되지만, 고밀도 처리에 필요한 정밀도는 갖추고 있지 않습니다.
우리가 사용하는 금 코팅 덕분에 에너지 손실이 줄어듭니다. 더 많은 광자들이 정확한 위치에 도달합니다. 그 결과, 웨이퍼 전체에 고르게 열이 분포되며, 이상한 오염 지점도 생기지 않습니다.
오존 제거
또한, 오존을 생성하는 파장을 걸러내기 위해 방출 스펙트럼을 필터링합니다. 이렇게 하면 클린룸 환경을 보호할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼上的 섬세한 유기물층이 손상되는 것도 방지됩니다. 높은 전력 밀도로 램프를 사용해도 공기 중에 유해한 물질이 생기는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
도전 과제: 통합 문제
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 정확한 정렬이 필요합니다. 금 코팅이 빛을 매우 집중시키기 때문에, 단 몇 밀리미터만 어긋나도 기판에 과열된 부분이 생길 수 있습니다. 그러므로 마운팅 브라켓이 완벽하게 고정되어 있어야 합니다.
또한, 열 문제도 있습니다. 이러한 고반사율 시스템은 하우징 내부에 많은 열 에너지를 집중시킵니다. 처리 속도를 높이기 위해 전력을 높이면, 쿨링 팬이나 액체 냉각 시스템이 충분히 강력해야 합니다. 주변 온도가 통제되지 않으면 필라멘트가 더 빨리 손상될 수 있습니다.
우리는 다운타임이 치명적인 환경에서 이러한 램프를 만듭니다. 적절한 전압 조절기를 사용하여 필라멘트가 과열되는 것을 방지하면, 금 코팅된 반사체는 수천 번의 작동에도 문제없이 작동할 것입니다.