V prostředí litografie stačí během zahřívání fotorezistu odchylka o 0,5 °C k tomu, aby se kritické rozměry změnily o několik nanometrů – což může způsobit velké problémy. My vyrábíme ohřívače právě pro takové situace. Jako dodavatel polovodičových ohřívačů navrhujeme termální systémy, které udržují teplotu desky stabilní během celého procesu zahřívání – bez poškození čisté pracovny třídy 1–100.
Co je důležité Cílem je dosáhnout teplotní jednotnosti na úrovni desky ve výši ±0,1 °C, měřeno přímo na povrchu desky, nikoli někde uvnitř samotného ohřívače. Rychle reagující krátkovlnné nebo střednovlnné prvky pomáhají udržet teplotu stabilní, zatímco křemenové a vysoce čisté keramické komponenty zabraňují uvolňování plynů a vzniku částic. Montáž vhodná pro čisté prostředí a izolované vedení pomáhají udržet počet částic v čisté pracovně v požadovaných mezích. Řídicí obvod je nastaven tak, aby zajistil opakovanost výsledků – každé zahřívání má stejný výsledek jako předchozí.
V továrnách s vysokou kapacitou snižuje opakovanost zahřívání fotorezistu množství oprav a problémů spojených s variacemi tloušťky linie. Vyšší jednotnost znamená méně vad na okrajích desek a předvídatelnější výnos. Stabilní a opakované řízení teploty také zkracuje dobu kalibrace a snižuje spotřebu energie.
Tyto ohřívače fungují 24/7 s minimální údržbou, takže nevznikají žádné neočekávané výpadky uprostřed kontinuálního procesu.
Několik praktických poznámek Tyto jednotky jsou navrženy pro konkrétní velikosti komor a napětí. Pokud je umístíte do mechanického pouzdra, pro které nebyly určeny, ztratíte jednotnost a hrozí poškození čistoty rozhraní. Objednejte si je s přesnými rozměry, typem konektoru a napětím. Po instalaci proveďte rychlou analýzu teploty, abyste zajistili správné fungování.