Více tepla tam, kde na něm opravdu záleží: emitory s zlatým povlakem Při ohřevu křemíkových destiček je důležitá každá jednotka energie. Problém s...

Přestaňte zahřívat vzduch: Chytřejší způsob zpracování destiček Pojďme mluvit o starých rezistivních pecích. Samozřejmě fungují, ale v podstatě jsou...

V prostředí lithografie platí určitá pravidla. Už poloviční odchylka o půl stupně během zahřívání fotorezisty stačí k tomu, aby se stabilní proces...

V prostředí litografie stačí odchylka teploty během procesu zahřívání o 0,5 °C k zničení celé série waférů. Měkké zahřívání slouží k čištění...

Na výrobní ploše není pečení fotorezistu volitelné – je to tolerance, podle které se musí pracovat. Posun teploty o 0,5 °C přes wafer se projeví jako...