Mehr Wärme genau dort, wo sie wirklich gebraucht wird: Mit Gold beschichtete IR-Emitter
Wenn man Siliziumwafers erhitzt, zählt jede Energieeinheit. Das Problem bei herkömmlichen IR-Emittern ist, dass sie Energie verlieren – ein großer Teil der Wärme entweicht einfach von hinten aus der Lampe. Dadurch wird Energie verschwendet und die Maschine unnötig überhitzt.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir den Quarzkern mit Gold beschichtet haben.
Warum Gold? Weil Gold hervorragend in der Reflexion von Infrarotstrahlung ist. Aluminium oder poliertes Stahl können dem nicht standhalten. Durch die Goldbeschichtung wird die Wärme wieder in Richtung der Wafer zurückgelenkt. So erhalten Sie höhere Oberflächentemperaturen, ohne die Leistung der Stromversorgung erhöhen zu müssen. Es ist einfach effizienter.
Aber der Quarzkern ist nicht das Einzige, was wichtig ist. Auch die Endkappen sind entscheidend – dort trifft der Strom auf den Tubus. Wir verwenden hier hochwertige Keramiken. Warum? Weil die Temperaturschwankungen sehr groß sind. Billige Endkappen können dieser Belastung nicht standhalten: Sie brechen, die Elektroden oxidieren oder schlimmer noch: Die Endkappen brennen aus und verursachen einen Kurzschluss. Das ist eine schnelle Art, eine Lampe zum Versagen zu bringen. Unsere Keramikendkappen sorgen dafür, dass die Dichtigkeit erhalten bleibt und das System stabil bleibt – selbst bei hoher Leistung.
Es gibt jedoch ein paar Dinge, die man beachten muss. Diese Anordnung erzeugt eine enorme Wärmestärke. Da die Energie so stark konzentriert ist, heizen sich die Wafer sehr schnell auf. Sie sollten daher Ihre PID-Controller überprüfen, damit Sie nicht die Zieltemperatur überschreiten.
Außerdem ist Gold etwas anspruchsvoll. Wenn die Umgebung schmutzig ist, kann die Beschichtung beschädigt werden – dann geht die Effizienz verloren. Halten Sie alles sauber.
Das Beste daran ist, dass diese Emitter als Ersatzteile verwendet werden können. Man muss die Anlage nicht neu aufbauen. Man muss sie einfach in die bestehende Stromversorgung anschließen – dann übernimmt das Gold die Arbeit.
Mehr Wärme auf der Bauteiloberfläche, weniger Wärme in der Luft. So einfach ist das.