फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट के बेकिंग तापमान में 0.2°C का भी अंतर, चार्टों में कोई परिवर्तन दिखने से पहले ही CD की एकरूपता एवं उत्पादन दक्षता को प्रभावित कर देता है। हमने ऐसे ही स्थितियों को रोकने हेतु अपने सेमीकंडक्टर लेजर डायोड हीटरों को विकसित किया है; क्योंकि इस उद्योग में थर्मल नियंत्रण कोई सहायक तंत्र नहीं है – बल्कि यह ही प्रक्रिया का ही हिस्सा है।
इनफ्रारेड सटीकता: सब-मिलीमीटर स्तर की एकरूपता, पुनरावृत्ती योग्यता
हम नियर-इनफ्रारेड विकिरण को कम-ऊष्मा-द्रव्यमान वाले वेफरों के तापन हेतु उपयोग में लाते हैं; इससे थर्मल क्षेत्र सब-मिलीमीटर स्तर पर ही रहता है, एवं किनारों से केंद्र तक का अंतर कम हो जाता है। सक्रिय क्षेत्र में, वेफर की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, एवं प्रक्रिया पुनरावृत्ती योग्य भी है।
प्रतिक्रिया त्वरित एवं पूर्वानुमेय है…
इसका मतलब है कि “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ निर्धारित मानकों के अनुरूप ही चलती हैं; कोई अतिरिक्त व्यवस्था की आवश्यकता नहीं है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट बेकिंग में इसका उपयोग क्यों?
लिथोग्राफी में, फोटोरेजिस्ट का व्यवहार केवल डिस्प्ले पर दर्शाए गए तापमान पर ही निर्भर नहीं है, बल्कि तापमान के इतिहास पर भी निर्भर है। हमारे लेजर डायोड हीटर, इस तापमान-इतिहास को स्थिर रखते हैं; इससे वेफरों पर लगे वर्गों में भिन्नताएँ कम हो जाती हैं, एवं सबसे महत्वपूर्ण परतें सुरक्षित रहती हैं।
क्लीनरूम में इसका उपयोग…
यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आता है; ऐसे में कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं ऑप्टिकल पथ भी सील्ड रहता है। इससे कोई संदूषण थर्मल प्रक्रिया में हस्तक्षेप नहीं कर पाता। परिणामस्वरूप, 24/7 निरंतर कार्य, कम ऊर्जा खपत, एवं कम उपकरणों की आवश्यकता – बिना बेकिंग गुणवत्ता में कोई कमी के।
स्थापना एवं संगतता…
यह उपकरण मौजूदा वेफर ट्रैक एवं बेकिंग मॉड्यूलों में ही उपयोग में आ सकता है; लेकिन इसके लिए सटीक संरेखण एवं क्लीनरूम-अनुकूल स्थापना आवश्यक है। थर्मल प्रदर्शन, उचित एमिसिविटी सेटिंगों एवं वातावरणीय तापमान के नियंत्रण पर ही निर्भर है।
कॉलिब्रेशन की प्रक्रिया…
कॉलिब्रेशन की प्रक्रिया छोटी ही है; इसके बाद प्रक्रिया पुनरावृत्ती योग्य ही रहती है – कोई निरंतर समायोजन की आवश्यकता नहीं है।