Di area litografi, perubahan suhu sebesar 0,5°C selama proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk mengubah dimensi kritis komponen hingga beberapa nanometer, sehingga dapat merusak hasil produksi. Kami memproduksi pemanas khusus untuk mengatasi masalah ini. Sebagai pemasok pemanas semikonduktor, kami merancang sistem termal yang mampu menjaga suhu wafer tetap stabil selama proses pemanasan, tanpa mengganggu kondisi ruangan bersih kelas 1–100.
Yang penting adalah keseragaman suhu pada tingkat wafer Kami menargetkan keseragaman suhu sebesar ±0,1°C, yang diukur tepat di permukaan wafer, bukan di bagian dalam pemanas itu sendiri. Komponen bergelombang pendek atau sedang yang memiliki respons cepat membantu menjaga stabilitas suhu. Sementara itu, bahan kuarsa dan keramik berkualitas tinggi membantu menghindari pelepasan gas dan pembentukan partikel. Penggunaan kabel yang tahan terhadap kontaminasi juga membantu menjaga jumlah partikel di ruangan bersih tetap dalam batas yang ditentukan. Sistem kontrolnya dirancang agar setiap proses pemanasan menghasilkan hasil yang sama, batch demi batch.
Di pabrik-pabrik yang memproduksi produk dalam jumlah besar, keseragaman suhu selama proses pemanasan fotoresist sangat penting untuk mengurangi kesalahan produksi akibat variasi lebar garis. Keseragaman suhu yang tinggi berarti lebih sedikit cacat pada tepi wafer, serta hasil produksi yang lebih dapat diprediksi. Kontrol suhu yang stabil juga membantu mempercepat proses kalibrasi dan mengurangi konsumsi energi.
Pemanas-pemanas ini dapat beroperasi 24/7 dengan pemeliharaan yang minimal, sehingga tidak akan ada gangguan produksi di tengah-tengah proses produksi yang berkelanjutan.
Beberapa catatan praktis Pemanas-pemanas ini dirancang khusus untuk ukuran chamber tertentu dan jenis tegangan tertentu. Jika pemanas ini dipasang di tempat yang tidak direncanakan, maka keseragaman suhunya akan terganggu, dan hal ini dapat merusak kondisi kebersihan interface antara wafer dan pemanas. Pastikan Anda memesan pemanas sesuai dengan dimensi, jenis konektor, dan tegangan yang diperlukan. Setelah pemasangan, lakukan pemeriksaan suhu secara cepat untuk memastikan bahwa semuanya berjalan sesuai rencana.