ナイトメアを止める：IRランプの故障から製造ラインを守る方法 正直言って、半導体製造工場でIRランプが破損すると、それは大惨事です。単にヒーター部品が壊れるだけではありません。石英の破片や化学物質がウエハーに降りかかってしまうのです。高負荷の生産を行っていると、熱応力や電気的なスパイクによって、こ...

なぜクリーンルーム用トロリーで強制送風を使うのをやめるべきか 半導体の高度な処理ラインで働いたことがある人なら、この状況はよく分かるでしょう。ほとんどの場合、ウェーハや基板を適切な温度に保つために、依然として熱風を利用しています。 確かにこれでも機能しますが、速度が遅いのです。 最大の問題は「時間...

なぜクリーンルームでIRランプを使用するのか 半導体のクリーンルームで働いたことがある人なら、空気の流れが悪いことがどれほど問題かを知っているでしょう。空気の流れによってほこりが舞い上がったり、微粒子が動き回ったりして、環境が乱れてしまいます。そのため、ベンチトップでの硬化処理にはIRランプを使用...