クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

破片の発生を防ぐ：赤外線ヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 正直に言えば、ウェーハの加工において、1つのヒーターが故障するだけで、その日の作業は台無しになってしまいます。また、製造されるシリコンの全ロットも台無しになります。 高負荷での生産を行う際、実質的には赤外線ヒーターに過度な負...