なぜ、金反射材を備えた赤外線ランプが半導体の乾燥に最適なのか 半導体業界では、「グリーン」で鉛フリーの基準が求められています。それは素晴らしいことですが、従来の方法、つまり大容量の対流オーブンを使う方法は、単なる無駄遣いに過ぎません。巨大な箱の中の空気を温めるために莫大なエネルギーを費やしているだ...

なぜウェーハを硬化させるためのランプに対して、そんなに厳しい電気的試験を行うのか？ ウェーハ硬化用ランプは、ハードウェアにとって非常に過酷な環境です。極端な高温や高電圧がかかります。この業界では、「小さな」ミスというものは許されません。わずかな絶縁不良があれば、コントローラーが壊れたり、一括でシリ...

リソグラフィー工程においては、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際にウエハがわずか0.5度だけでもずれてしまうと、安定していた工程が問題を引き起こす原因となります。そのため、ソフトベイクやハードベイクの条件を厳格に管理するのです。なぜなら、温度の均一性こそが線幅の精度を決定するからです。そして...