半導体ヒーター用テフロンワイヤー

ウェハフロアにおいて、フォトレジストのベークプロファイルは意見ではなく、温度（℃）で測定される。ソフトベークやハードベーク時に2℃の温度逸脱が発生すると、クリティカルディメンションの管理が狂い、生産ラインは停止する。そこで、熱制御をプロセスウィンドウ内に確実に保持するため、テフロン絶縁のヒーター配...