製造現場において、フォトレジストの加熱処理時の温度変動は、単なる理論上の問題ではありません。これは実際に歩留まりを低下させる要因です。0.5℃の温度変動でも、回路の重要な寸法が変わってしまいます。また、設定値を常に追跡しようとするランプは、各ロットごとに時間を無駄にしてしまいます。そこで私たちは、...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークは任意ではなく、厳格に守るべき許容範囲です。ウェハ全体で0.5°Cの温度変動があると露光後の線幅バラつきとなり、それが収率低下に直結します。我々のファブ用IR電圧レギュレータは、熱プロファイルを安定かつ再現性を持って制御範囲内に維持するために設計されています...