IRを用いた効果的なフォトレジストのベイク処理
リソグラフィー工程においては、ベイク温度が0.5℃だけ変動しても、そのロット全体が廃棄処分となってしまいます。ソフトベイクとは、溶剤をきれいに除去するための処理であり、ハードベイクとは、プロファイルを固定するための処理です。熱的な均一性が失われると、CDの精度が悪くなり、粒子の数も増えてしまいます...
スピンコーター ベークランプ
リソグラフィーの現場における焼成 焼成は一時停止ではなく、明確な境界線です。ソフトベイクはフォトレジスト溶剤を蒸発させ、ハードベイクはエッチング前にマスク画像を固定します。ランプがドリフトし始めると、すぐに問題が発生します：非均一なクリティカル寸法、エッジビード、開発後のスカムが発生します。これが...