ナイトメアを止める：IRランプの故障から製造ラインを守る方法 正直言って、半導体製造工場でIRランプが破損すると、それは大惨事です。単にヒーター部品が壊れるだけではありません。石英の破片や化学物質がウエハーに降りかかってしまうのです。高負荷の生産を行っていると、熱応力や電気的なスパイクによって、こ...

破片の発生を防ぐ：赤外線ヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 正直に言えば、ウェーハの加工において、1つのヒーターが故障するだけで、その日の作業は台無しになってしまいます。また、製造されるシリコンの全ロットも台無しになります。 高負荷での生産を行う際、実質的には赤外線ヒーターに過度な負...

なぜクリーンルーム用トロリーで強制送風を使うのをやめるべきか 半導体の高度な処理ラインで働いたことがある人なら、この状況はよく分かるでしょう。ほとんどの場合、ウェーハや基板を適切な温度に保つために、依然として熱風を利用しています。 確かにこれでも機能しますが、速度が遅いのです。 最大の問題は「時間...

クラス100のクリーンルームでの粒子に関する心配はやめましょう。 クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営していると、わかっていることですが、ほんのわずかなほこりやガスがあっただけで、ウェーハや光学部品がダメになってしまいます。本当にストレスです。一般的な加熱要素は問題の原因になりがちです...

なぜクリーンルームでIRランプを使用するのか 半導体のクリーンルームで働いたことがある人なら、空気の流れが悪いことがどれほど問題かを知っているでしょう。空気の流れによってほこりが舞い上がったり、微粒子が動き回ったりして、環境が乱れてしまいます。そのため、ベンチトップでの硬化処理にはIRランプを使用...