공장 건조 공정을 위한 에너지 감사
반도체 제조 공장의 건조 시스템에서 낭비되는 전력을 줄이세요.
솔직히 말해서, 반도체 제조 공장에서 전력을 낭비하는 것은 그야말로 돈을 버리는 행위입니다. 이는 운영 비용에 큰 부담이 됩니다.
문제는 대부분의 일반적인 반사판들이 효율이 형편없다는 것입니다. 이러한 반...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법
MEMS 센서를 제조할 때 가장 원치 않는 것은 불필요한 수분이나 용매로 인해 작업이 망가지는 것입니다. 하지만 문제는, 웨이퍼를 완전히 건조시키면서도 웨이퍼에 손상을 주거나 오염물질이 들어가는 것을 막아야 한다는 점입니다...
마이크로 LED 웨이퍼 건조 히터
마이크로 LED 웨이퍼가 최종 세척 과정을 거친 뒤 그대로 있으면서 건조를 기다리는 모습을 볼 수 있습니다. 생산 라인에서는 상황이 얼마나 빠르게 악화될 수 있는지 알 수 있습니다. 히터의 온도가 단 몇 십분의 1도라도 변동하면, 웨이퍼 가장자리에 물방울이 맺히고,...
웨이퍼 건조를 위한 적외선 방식과 대류 방식의 비교
팹 내에서는 열 오차란 협상의 대상이 될 수 있는 ‘허용 범위’가 아닙니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하는 동안 0.5°C만큼의 온도 변화라도 있으면 치명적인 문제가 발생할 수 있습니다. 또한 청소 후에 남은 약간의 수분도 다음 리소그래피 공정에서 문제를 일으킬 수...