공기를 가열하는 것을 그만두세요: 웨이퍼를 더 효율적으로 처리하는 방법 이제 오래된 저항식 오븐에 대해 이야기해보겠습니다. 물론 이 오븐들도 작동은 하지만, 사실상 거대한 히터에 불과합니다. 웨이퍼를 적정 온도로 만들기 위해 전체 챔버와 그 안의 공기를 가열하는 데...

클래스 100 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법 반도체 웨이퍼를 가열할 때는 단순히 온도 조절기만 신경 쓸 수는 없습니다. 클래스 100 환경에서는 가열 요소에서 나오는 아주 작은 먼지조차도 전체 제품을 망칠 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는...

MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서를 제조할 때 가장 원치 않는 것은 불필요한 수분이나 용매로 인해 작업이 망가지는 것입니다. 하지만 문제는, 웨이퍼를 완전히 건조시키면서도 웨이퍼에 손상을 주거나 오염물질이 들어가는 것을 막아야 한다는 점입니다...

우리는 모든 센서를 철저하게 테스트합니다. 예외는 없습니다. 웨이퍼 제조 공정에서는 아주 작은 전기 누설만으로도 전체 웨이퍼가 폐기되는 경우가 있습니다. 이는 누구도 원하지 않는 악몽입니다. 그래서 우리는 ‘배치 샘플링’을 하지 않습니다. 몇 개의 제품만 테스트해보고...

열 낭비를 막으세요: 왜 금으로 된 반사체가 중요한지 웨이퍼를 가열할 때, 중요한 것은 단순히 전력을 높이는 것이 아닙니다. 오히려 에너지가 주변 공기를 따뜻하게 하는 대신 실제로 실리콘에 도달하도록 하는 것이 중요합니다. 일반적인 석영 램프는 열을 사방으로 방출하기...

왜 웨이퍼 치유용 램프에 대해 엄격한 전기 테스트를 하는가? 웨이퍼 치유용 램프는 하드웨어에 매우 혹독한 환경을 가합니다. 극도로 높은 온도와 전압이 작용하기 때문입니다. 이 분야에서는 ‘작은’ 실수라는 것이 존재하지 않습니다. 아주 작은 절연 누설만 있어도 컨트롤러...

마이크로 LED 웨이퍼가 최종 세척 과정을 거친 뒤 그대로 있으면서 건조를 기다리는 모습을 볼 수 있습니다. 생산 라인에서는 상황이 얼마나 빠르게 악화될 수 있는지 알 수 있습니다. 히터의 온도가 단 몇 십분의 1도라도 변동하면, 웨이퍼 가장자리에 물방울이 맺히고,...

현장에서 라인이 작동 중이다. 리소그래피 셀은 웨이퍼를 소프트 베이크와 하드 베이크 과정을 순환시키며, 온도 설정값은 고정되어 있다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 몇 도의 편차, 가장자리 근처의 냉점, 또는 부하 상태에서 히터가 트립하는 상황은 조용히 수율을 저하시킬 수 있다...