MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서를 제조할 때 가장 원치 않는 것은 불필요한 수분이나 용매로 인해 작업이 망가지는 것입니다. 하지만 문제는, 웨이퍼를 완전히 건조시키면서도 웨이퍼에 손상을 주거나 오염물질이 들어가는 것을 막아야 한다는 점입니다...