IR을 활용한 효과적인 포토레지스트 건조

리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 전체 생산량이 폐기되는 경우가 있습니다. 소프트 베이킹은 용매를 깨끗하게 제거하는 과정이며, 하드 베이킹은 프로파일을 고정시키는 과정입니다. 열 분포에 문제가 생기면 CD 제어가 제대로 이루어지지 않고, 입자...