반도체 레이저 다이오드 히터

공장 내에서는, 포토레지스트를 가열하는 온도가 0.2°C만 변동해도, 그로 인해 CD의 균일성과 생산성이 저하됩니다. 이러한 변동은 수치상으로는 드러나지 않을 수 있습니다. 우리는 이러한 변동이 발생하는 것을 막기 위해 반도체 레이저 다이오드 히터를 개발했습니다. 왜...