Lihatlah wafer Micro LED yang baru selesai dicuci, dan ia dibiarkan di situ sambil menunggu untuk kering. Dalam proses pengeluaran, kita tahu betapa cepatnya segala perkara boleh berubah menjadi tidak terkawal. Jika suhu pemanas berubah walaupun sedikit sahaja, titisan air pada tepi wafer akan kekal ada, pola fotoresist akan berubah, dan kualiti produk akan merosot sebelum proses litografi bermula. Kami telah mencipta pemanas khusus untuk mengeringkan wafer Micro LED ini, agar variasi suhu dapat dikurangkan.
Apa yang penting di dalamnya
Unit ini menggunakan elemen inframerah gelombang pendek di belakang tingkap kuarsa, supaya pemanasan berlaku dengan cepat dan suhu dapat dikawal dengan baik. Suhu di seluruh permukaan wafer kekal stabil pada ±0.1°C. Ini memastikan titisan air pada tepi wafer dapat hilang sepenuhnya, dan pola fotoresist tetap konsisten dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain.
Ia direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100: bahan yang digunakan mempunyai kadar pelepasan gas yang rendah, dan aliran udara yang digunakan tidak menyebabkan zarah-zarah berterbangan. Kami tidak hanya mencari slogan semata-mata; kami ingin mengelakkan sebarang pembentukan zarah sama sekali. Pemanas ini boleh digunakan bersama alat-alat lain atau di dalam unit pengeringan berdiri sendiri. Ia juga mempunyai voltan standard, dan reka bentuknya membolehkan penggunaan robotik dan alat pengukuran.
Mengapa ia sesuai untuk pengeluaran Micro LED
Dalam pengeluaran Micro LED, kawalan suhu sangat penting, kerana tiada ruang untuk sebarang kontaminasi. Pemanas ini memastikan suhu tetap stabil semasa proses pemanasan, jadi tidak akan berlaku perubahan pada ketepatan ukuran wafer akibat perbezaan suhu. Apabila proses pemanasan dapat dilakukan secara konsisten, masa yang diperlukan untuk proses pengeluaran akan berkurangan, dan pembaziran juga akan berkurangan.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana sistem ini hanya memanaskan kawasan yang diperlukan sahaja, dan proses pemanasan berlaku dengan cepat. Kebolehpercayaan sistem ini sangat tinggi, kerana komponennya direka untuk digunakan 24/7, dan jangka masa penyelenggaraannya juga dapat diramalkan. Dengan itu, masa henti yang tidak dirancang dapat dielakkan.
Beberapa nota penting
Untuk mendapatkan prestasi yang terbaik, laluan pelepasan gas perlu disesuaikan dengan saluran udara alat tersebut. Jika tekanan balik tidak sesuai, masa yang diperlukan untuk proses pengeringan akan bertambah, dan ini akan menjejaskan kualiti produk. Semasa pemasangan, saiz chuck dan antaramuka sambungan perlu disesuaikan dengan platform pengeringan yang digunakan.
Terdapat tempoh penyesuaian yang singkat untuk menetapkan kombinasi pelarut dan saiz wafer yang sesuai. Setelah itu, proses pengeluaran dapat berjalan dengan lancar tanpa gangguan.