Mendapatkan Data Suhu yang Tepat untuk Pemanas Semikonduktor Generasi Baru
Jika anda sedang membina fasiliti pengeluaran yang canggih, anda pasti sudah menyedari bahawa pemantauan suhu secara asas sahaja sudah tidak mencukupi lagi. Anda memerlukan sistem yang mampu berkomunikasi dengan PLC secara real-time, agar dapat memperoleh data yang tepat dan terperinci. Dalam bidang pemanasan semikonduktor, sebarang kesilapan kecil boleh menyebabkan wafer menjadi rosak atau proses penyebaran bahan doping tidak sekata. Ini merupakan masalah yang perlu dielakkan.
Aspek-aspek penting dalam penggunaan sensor
Semuanya bermula dengan jenis aloi yang digunakan. Bergantung pada julat suhu yang diperlukan, anda boleh menggunakan termokopel jenis K atau jenis S. Jenis S lebih sesuai untuk digunakan dalam ketuhar difusi, kerana ia tidak akan mengalami perubahan nilai suhu walaupun suhu sangat tinggi.
Namun, sensor yang paling baik sekalipun akan menjadi tidak berguna jika diletakkan di tempat yang salah. Jika kedudukan probe tidak tepat, akan timbul “titik sejuk” pada wafer tersebut. Satu titik sejuk saja sudah cukup untuk merosakkan seluruh kumpulan wafer tersebut. Kami berusaha untuk mengurangkan kelewatan dalam penghantaran data, kerana masa tindak balas yang cepat dapat membantu mengelakkan kontroler PID daripada berfungsi secara berlebihan. Tiada siapa yang mahu komponen pemanasnya rosak kerana sensor tidak dapat bertindak balas dengan cepat.
Penghantaran data
Konsep Industry 4.0 mungkin kedengaran hebat, tetapi sebenarnya ia hanya berkaitan dengan isyarat yang dihantar. Kita sedang beralih daripada penggunaan alat analog lama kepada sistem digital. Dengan menggabungkan termokopel dengan penukar isyarat A/D berketepatan tinggi, kita dapat mendapatkan maklumat yang tepat tentang setiap kitaran pemanasan. Ini sangat berguna, kerana kita dapat melihat bila lampu pemanas mula rosak sebelum ia benar-benar tidak berfungsi lagi. Kita juga dapat mengesan sebarang perubahan dalam data yang diterima, lalu merancang masa yang sesuai untuk mengganti komponen tersebut, supaya proses pengeluaran dapat berjalan seperti biasa.
Keseimbangan antara keperluan dan kelemahan
Ketepatan bukanlah sesuatu yang percuma. Semakin banyak termokopel yang digunakan, semakin rumit pula susunan kabelnya. Selain itu, hal ini juga boleh menyebabkan gangguan pada isyarat yang dihantar. Anda memerlukan kabel yang dilindungi untuk mengelakkan gangguan EMI dari sumber kuasa. Namun, berhati-hatilah; jika perlindungan yang berlebihan digunakan, ia boleh memperlahankan masa tindak balas sensor. Ia merupakan keseimbangan yang perlu dicapai antara spesifikasi perlindungan dan kadar pensampelan yang diperlukan oleh sistem kawalan untuk kestabilan operasi.