Di bilik litografi, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist sudah cukup untuk mengubah dimensi kritikal komponen tersebut secara signifikan, sehingga merosakkan hasil pengeluaran. Itulah sebabnya kami mencipta pemanas khusus untuk menangani masalah ini. Sebagai pembekal pemanas semikonduktor, kami mereka bentuk sistem terma yang dapat mengekalkan suhu wafer pada tahap yang stabil sepanjang proses pembakaran, tanpa mengganggu kebersihan bilik kawalan kelas 1–100.
Apa yang penting
Kami berusaha untuk mencapai keseragaman suhu pada tahap wafer sebanyak ±0.1°C, diukur terus pada permukaan wafer, bukan di dalam badan pemanas itu sendiri. Unsur pemanas berfrekuensi tinggi atau sederhana membantu memastikan suhu tetap stabil, sementara komponen kuarsa dan seramik berkualiti tinggi membantu mengurangkan pelepasan gas dan penghasilan zarah-zarah yang boleh merosakkan kebersihan bilik kawalan. Sistem pengawalan suhu yang cekap juga membantu memastikan kebersihan bilik kawalan tetap terjaga. Litar kawalan direka agar hasilnya konsisten dari satu proses ke proses yang lain.
Di kilang-kilang pengeluaran berskala besar, keseragaman suhu yang tinggi dapat mengurangkan kerja-kerja pembaikan yang diperlukan akibat variasi lebar garis pada wafer. Keseragaman suhu yang baik juga membantu mengurangkan kecacatan pada tepi wafer, serta meningkatkan kadar pengeluaran yang konsisten. Kawalan suhu yang stabil juga membantu memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengesahan, serta mengurangkan penggunaan tenaga.
Pemanas-pemanas ini beroperasi 24/7 dengan penyelenggaraan yang minimum, jadi tidak akan ada gangguan operasi di tengah-tengah proses pengeluaran yang berterusan.
Beberapa nota praktikal
Unit-unit ini direka khas untuk dimasukkan ke dalam ruang tertentu dan menggunakan voltan tertentu. Jika ia dimasukkan ke dalam ruang yang tidak sesuai, keseragaman suhu akan terjejas, dan kebersihan antaramuka juga boleh terganggu. Pastikan anda memesan unit tersebut dengan dimensi, jenis sambungan, dan voltan yang tepat. Selepas pemasangan, lakukan pemeriksaan suhu untuk memastikan segala sesuatu berjalan seperti yang diharapkan.