Op de lithografielijn is het proces natuurlijk bekend. Een afwijking van een halve graad op het wafer tijdens het drogen van de fotorezist is al voldoende om een stabiel proces om te zetten in een probleem wat betreft de productiekwaliteit. Er worden strenge specificaties gehanteerd voor de temperatuur tijdens het drogen – de temperatuurnetheid bepaalt immers de nauwkeurigheid van de lijnen op het wafer. En deze controle begint al bij het IR-lampensysteem.
Wat er echt toe doet Voor de IR-lampen wordt gebruik gemaakt van aluminiumreflectoren die zorgen voor een reproduceerbare en ruimtelijk stabiele warmteafgifte. De geometrie van de reflectoren is zo ingesteld dat de verlichting gelijkmatig over het wafer wordt verdeeld, met een temperatuurnetheid van ±0,1°C. Het oppervlak van de reflectoren is gepasseerst en afgesloten, zodat ze kunnen worden gebruikt in schone kamers van klasse 1–100, zonder dat er gasen vrijkomen.
Het risico op het ontstaan van deeltjes wordt verminderd door het gebruik van een reflectie-laag die niet loslaat en een monolithische afsluiting aan de randen. Hierdoor blijft de emissiviteit stabiel, is de thermische verbinding voorspelbaar en kan men rekenen op consistente prestaties bij elke behandeling.
Waarom dit werkt in het fotorezistproces Deze reflectoren zorgen voor een stabiele warmteafgifte, waardoor de controle over de belangrijkste dimensies binnen de gewenste toleranties blijft. De hoge temperatuurnetheid vermindert het aantal producten met fouten en helpt om de kwalificatiecyclus te verkorten. Bovendien blijft het aantal deeltjes laag, waardoor het reticle en het wafer beschermd blijven.
De betrouwbaarheid van de reflectoren is gebaseerd op de kwaliteit van de materialen. Ze behouden hun stabiliteit gedurende meer dan 5.000 uur, waardoor er minder onverwachte problemen zijn en er minder ongeplande stilstand optreedt. Ook de energieverbruik neemt af, omdat de geometrie ervoor zorgt dat de warmte precies daar terechtkomt waar het nodig is – en niet op de wanden van de kamer.
De praktische details die belangrijk zijn De reflectoren werken met zowel kortegolfrange als middenweggolfrange IR-lampen. Echter, de spectrale uitgangsspanning van de lampen en de geometrie van de kamer moeten worden aangepast aan het thermische profiel dat nodig is voor de fotorezist. De installatievereisten zijn strikt: de alignment en de afstand tussen de lamp en de reflector hebben direct invloed op de temperatuurnetheid.
Er moet eerst een korte tijd worden gewacht nadat de lampen zijn vervangen, zodat het apparaat volledig kan stabiliseren. De herhaalbaarheid van het droogproces hangt af van dit proces.