На поверхні пластини, яка проходить обробку за допомогою літографії, все є досить просто. Достатньо лише невеликого зміщення на півградуса під час висушування фотолаку, щоб стабільний процес перетворився на проблему з якістю продукції. Ми суворо контролюємо параметри температури під час обробки – адже саме цей параметр визначає товщину ліній на поверхні пластини. А контроль починається вже на рівні системи ІЧ-ламп.
Що насправді має значення Ми використовуємо алюмінієві відбивачі для ІЧ-ламп, щоб забезпечити стабільне тепловиділення. Геометрія відбивача така, що профіль освітлення точно відповідає формі пластини; різниця температур по всій поверхні не перевищує ±0,1°C. Поверхня відбивача є захищеною та герметичною, тож він може використовуватися в чистих кімнатах класу 1–100 без виділення газів.
Кількість частинок залишається на нулевому рівні завдяки монолітичній конструкції відбивача та його герметичним краям. Це забезпечує стабільну емісію тепла, передбачуваний тепловий ефект та надійну роботу протягом усього процесу обробки.
Чому це ефективно під час обробки фотолаку Цей відбивач дозволяє контролювати температурний режим, що допомагає зберігати критичні параметри в межах допустимих значень. Стабільна температура зменшує кількість бракованих виробів та допомагає скоротити час процедур калібрування. Компатibilitа з чистими кімнатами забезпечує низьку кількість частинок, що захищає пластину та інші компоненти.
Надійність досягається завдяки якості матеріалів. Відбивач зберігає стабільність своїх характеристик протягом 5,000+ годин, що зменшує кількість несподіванок та простоїв. Також зменшується споживання енергії, оскільки геометрія відбивача дозволяє направляти тепло саме туди, де це потрібно.
Практичні деталі, які вам потрібні Відбивач підходить для використання з ІЧ-лампами короткої та середньої довжини хвилі. Однак необхідно підбирати спектральні характеристики лампи та геометрію камери відповідно до вимог фотолаку. Допуски при встановленні є дуже строгими – правильна налаштування та відстань між лампою та відбивачем безпосередньо впливають на рівномірність освітлення.
Необхідно передбачити короткий час прогріву після заміни лампи. Повторюваність процесу обробки залежить від того, наскільки швидко суміш може стабілізуватися перед початком процедур калібрування.