На поверхні плитки для літографії навіть зміна температури на 0,5°C під час процедури випалювання фоточутливого матеріалу може призвести до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів, що може зруйнувати всю структуру чіпа. Саме для цього ми створюємо нагрівачі. Як постачальники напівпровідникових нагрівачів, ми розробляємо теплові системи, які дозволяють підтримувати стабільну температуру платинки під час усіх етапів обробки – без порушення умов чистого приміщення класу 1–100.
Що є важливим? Ми прагнемо до теплової однорідності на рівні платинки в межах ±0,1°C, виміряної прямо на поверхні платинки, а не всередині самого нагрівача. Елементи швидкої реакції на коротких чи середніх хвилях допомагають підтримувати стабільну температуру, тоді як кварцові та високочисті керамічні елементи запобігають утворенню газів та частинок. Крім того, спеціальні елементи кріплення та захищені проводи допомагають підтримувати необхідний рівень чистоти в приміщенні. Система керування налаштована так, щоб кожна процедура випалювання відбувалась так само, як і попередня.
У заводах з великим обсягом виробництва регулярність процедур випалювання фоточутливого матеріалу значно скорочує кількість необхідних корекцій та помилок, пов’язаних із змінами ширини ліній на платинці. Краща однорідність означає менше дефектів на краях платинки та більш передбачуваний рівень якості продукції. Стабільне та точне керування температурою також скорочує час процедур калібрування та економить енергію.
Ці нагрівачі працюють 24/7 з мінімальним обслуговуванням, тож не виникає проблем з перервами в роботі під час безперервного виробництва.
Кілька практичних порад Ці пристрої розроблені для конкретних умов експлуатації та рівнів напруги. Якщо поставити їх у приміщення, не призначене для їх експлуатації, це призведе до втрати однорідності та може пошкодити чистоту середовища. Обов’язково замовляйте пристрої з точними розмірами, типом з’єднувачів та рівнем напруги. Після установки необхідно провести контрольну процедуру для перевірки параметрів пристрою.