Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, một sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C trong quá trình nung chảy chất phủ bề mặt cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer thành vài nanomet. Điều này có thể dẫn đến hậu quả nghiêm trọng. Chúng tôi chế tạo các bộ sưởi dành riêng cho mục đích này. Là nhà cung cấp bộ sưởi cho ngành bán dẫn, chúng tôi thiết kế các hệ thống điều nhiệt giúp duy trì nhiệt độ ổn định của wafer trong suốt quá trình nung chảy, mà không ảnh hưởng đến môi trường làm việc sạch trong phòng kiểm soát nhiễm bẩn loại 1–100.
Điều quan trọng nhất là gì? Chúng tôi hướng tới mức độ đồng đều nhiệt độ ở cấp độ wafer là ±0,1°C, được đo ngay tại bề mặt wafer, chứ không phải ở bên trong thân bộ sưởi. Các linh kiện phát sóng tia ngắn hoặc tia trung bình giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Các vật liệu như thạch anh và gốm có độ tinh khiết cao giúp ngăn chặn sự phát sinh khí và hạt bụi. Các bộ phận lắp đặt và dây dẫn được thiết kế sao cho không gây ra nhiễm bẩn trong phòng kiểm soát nhiễm bẩn. Vòng điều khiển được tối ưu hóa để đảm bảo sự lặp lại chính xác của quy trình nung chảy, từ đó giúp giảm thiểu sai số giữa các lần nung chảy.
Trong các nhà máy sản xuất với công suất lớn, việc duy trì tính lặp lại trong quá trình nung chảy chất phủ bề mặt giúp giảm thiểu việc phải sửa chữa và giảm sai số liên quan đến độ rộng của các đường nối trên wafer. Mức độ đồng đều nhiệt độ cao hơn giúp giảm thiểu các khuyết tật ở mép wafer và mang lại tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn cao hơn. Việc kiểm soát nhiệt độ ổn định cũng giúp rút ngắn thời gian kiểm tra chất lượng và giảm mức tiêu thụ năng lượng.
Các bộ sưởi này hoạt động 24/7 với chi phí bảo trì thấp, vì vậy bạn không phải lo lắng về việc máy ngừng hoạt động bất ngờ trong quá trình sản xuất.
Một vài lưu ý thực tế Các bộ sưởi này được thiết kế dành riêng cho các loại buồng thí nghiệm và mức điện áp cụ thể. Nếu lắp chúng vào môi trường không phù hợp, bạn sẽ mất đi khả năng kiểm soát nhiệt độ và có nguy cơ làm hỏng môi trường sạch trong phòng kiểm soát nhiễm bẩn. Hãy đặt hàng với kích thước, loại đầu nối và mức điện án chính xác, sau đó tiến hành kiểm tra nhiệt độ ngay sau khi lắp đặt để đảm bảo mọi thứ hoạt động ổn định.