中波红外线晶圆加热器

车间内，产线正在嗡嗡作响。光刻单元正将晶圆循环通过软烘和硬烘，温度设定点被锁定。一点点温度偏差分布在晶圆上，边缘附近的冷点，或负载下加热器跳闸，都可能悄无声息地导致良率下降。你付出的代价不仅是报废的晶圆，还有产能损失、紧急维护窗口，以及光刻胶剥离曲线偏离设计规范的风险。 这正是中波红外加热器发挥作...