利用红外线实现有效的光刻胶烘烤

在光刻工艺中，烘烤温度只要出现0.5°C的偏差，就足以导致整批产品报废。所谓“软烘烤”，其实就是让溶剂充分蒸发；而“硬烘烤”则是为了固定产品的尺寸参数。一旦温度均匀性出现问题，CD控制就会失灵，颗粒数量也会随之增加。 我们的解决方案及其重要性 我们采用了带有石英增强的短波近红外发射器的烘烤模块。这...