MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损害？ 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留，因为这些会毁掉整个生产过程。不过，问题在于：我们必须在不损害材料、也不让杂质进入的情况下，将晶圆彻底干燥。 因此，我们使用短波红外线加热器。与试图加热整个房间不同——那样既浪费时间又浪费能源——红...