节能型晶圆加热器

如何保持100级洁净室的清洁状态 在加热半导体晶圆时，不能只考虑恒温器的问题。在100级洁净环境中，哪怕有一粒微小的灰尘从加热元件上飞出，都可能毁掉整批产品。这简直就是一场噩梦。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制作红外灯。普通的玻璃或廉价材料根本无法满足要求——因为它们在高温下容易释放气体或...