Einführung
Wenn Sie bei Alibaba nach geeigneten Heizlösungen suchen und auf zuverlässige Wärmezufuhr angewiesen sind, können Sie sich auf uns verlassen – ohne Rückschlüsse oder Risiken. Wir liefern RTP-Lampen, die speziell für den thermischen Prozess in Halbleiterfabriken entwickelt wurden. Dabei darf die Temperaturschwankung nur bei 0,1°C liegen.
Es handelt sich dabei um Halogenheizung, die perfekt mit dem elektrischen System harmoniert. Die Lampen können direkt in Ihre vorhandene Thermoanlage integriert werden – ohne weitere Anpassungen. Einfach und effektiv.
Technische Details
Bei RTP geht es vor allem um Geschwindigkeit und Stabilität. Deshalb nutzen wir eine Hochleistungs-Halogenheizung – dadurch reagiert die Heizung sofort auf Änderungen der Temperaturanforderungen. Wir passen Spannung und Leistung an die Länge der Lampe sowie die benötigte thermische Belastung an.
Es handelt sich dabei nicht um eine Allzweckheizung. Die Lampen sind speziell dafür konzipiert, dass die Temperatur des Wafers auch während schneller Temperaturänderungen konstant bleibt.
Außerdem ist die Bauweise kompakt – die Lampen können ohne weitere Anpassungen in Ihre bestehende RTP-Kammer eingebaut werden. Dadurch wird eine gleichmäßige Beleuchtung im gesamten Prozessaum gewährleistet.
Materialien und Design
Wir verwenden einen Quarzkörper, da dieser hohe Temperaturen sowie wiederholte Belastungen aushält, ohne zu zerbrechen. Der Halogenfüllstoff sorgt für eine stabile und vorhersagbare Wärmeübertragung. Zudem schützt er den Glühfaden, sodass keine häufigen Ersatzteilaustausche notwendig sind. Eine beschichtete Oberfläche sorgt außerdem für eine konstante Wärmeverteilung.
Bei der Auswahl der Steckverbindungen legen wir Wert auf Praktikabilität und Standardisierung. Wir verwenden Steckverbinder vom Typ R7s – sie sind einfach in der Handhabung und ermöglichen einen zuverlässigen Stromfluss.
Anwendung und Vorteile
Bei der Waferverarbeitung ist eine konstante Temperatur entscheidend. Unsere Lampen bieten die nötige Präzision, damit die Prozessbedingungen stets kontrollierbar bleiben. Die Reaktionszeit auf Temperaturänderungen ist ausreichend schnell, und die mechanische Verbindung ermöglicht eine einfache Integration in die bestehende Anlage.
Es gibt jedoch einen Nachteil: Aufgrund der hohen Heizdichte müssen Kühlsysteme sowie Stromversorgung richtig dimensioniert werden. Planen Sie die Luftzufuhr sowie die elektrische Anlage im Voraus – so erhalten Sie stabile Prozesse mit weniger Problemen bei der Einrichtung.
Falls Sie eine Konstanz von 0,1°C ohne höhere Kosten möchten, sind unsere RTP-Lampen eine praktische Alternative zu importierten Lösungen.