短波赤外線ランプ半導体

リソグラフィフロアでは、時間は決して味方ではない。ソフトベークがわずか2℃でもずれると、溶剤の蒸発が乱れ、フォトレジストの流動性が変わり、クリティカルディメンション（CD）制御が規格外になる。ハードベークの不安定さはスカミングや接着不良を引き起こし、廃棄ウェハ1枚ごとに時間、薬品、クリーンルームの...