省エネ型ウェーハヒーター

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、サーモスタットだけに頼ってはいけません。クラス100の環境では、加熱要素から出るごくわずかなほこりが、全体の製品を台無しにしてしまう可能性があります。これは本当に厄介な問題です。 そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用して...