MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

MEMSウェーハを問題なく乾燥させる方法 MEMSセンサーを製造する際、最も避けたいのは、水分や溶剤の汚れが製品の品質を損なうことです。しかし、問題は、ウェーハを完全に乾燥させつつ、材料に負担をかけず、また不純物が混入しないようにすることです。 そこで、私たちは短波長の赤外線ヒーターを使用します。...