リソグラフィフロアでは、時間は決して味方ではない。ソフトベークがわずか2℃でもずれると、溶剤の蒸発が乱れ、フォトレジストの流動性が変わり、クリティカルディメンション（CD）制御が規格外になる。ハードベークの不安定さはスカミングや接着不良を引き起こし、廃棄ウェハ1枚ごとに時間、薬品、クリーンルームの...

フロアではラインが稼働音を立てている。リソグラフィセルはウェハーをソフトベークとハードベークに循環させ、温度の設定値は固定されている。ウェハー全体で数度の温度変動、端部付近の冷却スポット、または負荷時にトリップするヒーターは、静かに歩留まりを低下させる。廃棄されるウェハーのコストだけでなく、設備稼...