우리는 모든 센서를 철저하게 테스트합니다. 예외는 없습니다.
웨이퍼 제조 공정에서는 아주 작은 전기 누설만으로도 전체 웨이퍼가 폐기되는 경우가 있습니다. 이는 누구도 원하지 않는 악몽입니다.
그래서 우리는 ‘배치 샘플링’을 하지 않습니다. 몇 개의 제품만 테스트해보고 최선을 기대하는 것은 위험한 일입니다. 우리 공장에서 나가는 모든 센서는 100% 내전압 및 절연 저항 테스트를 거칩니다. 단 한 개라도 예외는 없습니다.
절연 파괴의 현실
웨이퍼 처리 장비 내부는 매우 좁습니다. 고전압을 가하는 부품들이 극도로 민감한 반도체 기판과 바로 인접해 있습니다. 그러므로 절연 성능이 완벽해야 합니다.
이를 확인하기 위해 우리는 정상적인 작동 범위를 훨씬 넘는 전압을 가합니다. 육안으로는 보이지 않는 미세한 균열이나 세라믹의 손상 여부를 확인합니다. 만약 수 밀리암페어 정도의 전류만 누설된다 해도 해당 제품은 폐기됩니다.
왜 단순히 샘플링을 할 수 없는가
무작위 샘플링은 위험한 방법입니다. 고정밀 장비에서는 이런 방식을 사용해서는 안 됩니다.
예를 들어, 절연체에 미세한 균열이 생길 수 있습니다. 이는 육안으로는 보이지 않습니다. 하지만 일단 장비에 들어가면 전기적 간섭을 일으키거나 직접적인 단락을 일으켜 장비가 작동을 멈출 수 있습니다.
모든 제품을 테스트함으로써, 제품이 우리 공장을 떠나 클린룸에 설치될 때까지 절연 성능이 완벽하다는 것을 확신할 수 있습니다.
전력과 공간의 타협
문제는, 극도로 높은 절연 저항이 필요하다면 보통 더 많은 재료가 필요하다는 것입니다. 그렇다는 것은 더 두꺼운 세라믹 케이스나 특수 코팅이 필요하다는 뜻입니다.
이로 인해 센서의 크기가 커집니다. 따라서 추가된 크기와 장비 내부의 공간 사이의 균형을 잘 맞춰야 합니다. 만약 고전압 격리용 센서를 사용한다면, 마운팅 브래킷에 충분한 공간이 있는지 꼭 확인해야 합니다.
주문이 도착하면 각 제품의 테스트 보고서를 받게 됩니다. 이 보고서를 통해 절연 성능이 문제없다는 것을 확인한 후에야 제품을 사용할 수 있습니다.