Below you will find pages that utilize the taxonomy term “공기” 에어 나이프 장치가 내장된 적외선 램프 리소그래피 공정에서는 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 결과가 발생합니다. 단 몇 나노미터의 오차로도 웨이퍼의 형상이 변하게 되죠. 이는 엄청난 양의 폐기물을 초래합니다. 그래서 우리는 적외선 램프와 에어 나이프 장치를 함께 사용하여 열이 웨이퍼 전체에 균일하게 분... Read more...
에어 나이프 장치가 내장된 적외선 램프 리소그래피 공정에서는 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 결과가 발생합니다. 단 몇 나노미터의 오차로도 웨이퍼의 형상이 변하게 되죠. 이는 엄청난 양의 폐기물을 초래합니다. 그래서 우리는 적외선 램프와 에어 나이프 장치를 함께 사용하여 열이 웨이퍼 전체에 균일하게 분... Read more...
