램프용 SCR 전력 조절기
생산 현장에서는 포토레지스트를 건조할 때 발생하는 열 변동이 단순한 학문적 문제가 아니라, 생산 효율을 저하시키는 심각한 문제입니다. 0.5°C만의 온도 변동으로도 치명적인 오차가 생길 수 있으며, 목표 온도를 유지하기 위해 램프가 계속해서 조절을 반복하면서 시간이...
파브 IR용 전압 조절기
Fab 공정 현장에서 포토레지스트 베이크는 선택이 아닌 필수 공정이다. 웨이퍼 전체에서 0.5°C의 온도 변화는 노광 후 선폭 변화로 나타나며, 이는 직관적으로 수율 저하로 이어진다. 우리는 fab IR용 전압 조절기를 설계하여 열 프로파일이 안정적이고 재현 가능하며...