단파 적외선 램프 반도체
리소그래피 작업장에서 시간은 결코 우호적이지 않습니다. 소프트 베이크가 단 2°C만 변해도 용제 증발이 불안정해지고, 포토레지스트의 흐름이 달라지며, 치수 제어가 사양에서 벗어납니다. 하드 베이크의 불안정성은 스커밍과 접착력 저하를 초래하며, 웨이퍼 하나를 폐기하는...
웨이퍼용 중파 적외선 히터
현장에서 라인이 작동 중이다. 리소그래피 셀은 웨이퍼를 소프트 베이크와 하드 베이크 과정을 순환시키며, 온도 설정값은 고정되어 있다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 몇 도의 편차, 가장자리 근처의 냉점, 또는 부하 상태에서 히터가 트립하는 상황은 조용히 수율을 저하시킬 수 있다...