반도체 히터용 테플론 와이어

웨이퍼 플로어에서는 포토레지스트 베이크 프로파일이 의견이 아니라 도(℃) 단위로 측정된다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크 중 2℃의 편차는 치수 제어에 영향을 미치며 라인이 중단된다. 우리는 열 제어를 공정 윈도우 내에 유지하기 위해 테플론 절연 히터 배선을 내장했...