세정 후 웨이퍼용 적외선 히터

팹에서는, 세정 후에 남은 약간의 수분과 자연적으로 다시 형성된 산화물들이 사람이 눈치채기도 전에 포토레지스트의 점착력을 떨어뜨립니다. 조금만 온도가 변해도, 혹은 특정 부위의 온도가 높아져도 소프트 베이크 과정에 문제가 생깁니다. 그 결과로 에칭 후에 웨이퍼의 강도...