RTP 시스템 램프 최저가

Fab 공정 현장에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 중 0.5도 정도의 온도 편차만으로도 라인폭 제어와 CD 균일성이 크게 손상될 수 있다. 열 예산은 타협하지 않는다. RTP 램프가 목표 온도에 도달하지 못하면, 램프 비용뿐 아니라 스크랩과 재작업 비용도 발생한다....