可以看到，Micro LED晶圆在经过最终清洗后，会暂时放置在那里等待干燥。在生产线上，情况很容易出现变数。如果加热器的温度偏差哪怕只有几十分之一摄氏度，就会导致晶圆边缘出现水珠，光刻胶的图案也会变得不清晰，而这一切都发生在光刻过程开始之前。我们设计的Micro LED晶圆干燥器就是为了消除这些变量。
关键参数 该设备利用石英窗后面的短波红外线元件来加热晶圆，从而实现快速且均匀的加热效果，同时也能让晶圆迅速冷却。整个晶圆表面的温度均匀性可保持在±0.1°C之间。这样的精度有助于确保晶圆边缘的水珠能够彻底去除，同时也能保证每次光刻过程的稳定性。
该设备适用于1级到100级的洁净室环境：它使用低挥发性的材料，且气流设计不会使颗粒物产生。我们追求的是零颗粒物的产生。该加热器可以直接安装在轨道式设备或独立式干燥装置中，具备标准的电压规格，同时还留有足够的空间以便于机械臂和测量设备的安装。
为何适合用于Micro LED生产 在Micro LED生产中，温度控制至关重要，任何污染都会影响产品质量。这款干燥器能够保持稳定的加热温度，从而避免因温度不均导致的缺陷。当加热过程能够重复进行时，测试周期就会缩短，废品率也会降低。
此外，由于该系统只对目标区域进行加热，因此能耗也更低。其可靠性极高，可24/7持续运行——所使用的组件都具有较长的使用寿命，维护周期也相对稳定，从而避免了意外停机的情况。
一些使用注意事项 为了获得最佳性能，排风系统必须与设备的管道系统相匹配。如果背压不匹配，会导致晶圆需要更长的时间才能达到稳定状态，从而影响颗粒控制效果。安装时需确保晶圆的尺寸以及连接器接口与相应的设备相匹配。
在调试阶段，需要调整溶剂配方以及晶圆尺寸的相关参数。一旦这些参数得到优化，生产过程就能更加顺畅，中断次数也会减少。