停止在半导体制造设备中浪费电能 说实话，在半导体制造过程中浪费电能，其实就相当于白白浪费金钱。这会大大增加企业的运营成本。 问题在于，大多数普通的反射器性能较差，它们会将红外能量散射到各个方向，这意味着你支付的电费中有一大部分根本没有用于加热晶圆。 我们通过使用高纯度的镀金反射器来解决这个问题。这...

如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损害？ 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留，因为这些会毁掉整个生产过程。不过，问题在于：我们必须在不损害材料、也不让杂质进入的情况下，将晶圆彻底干燥。 因此，我们使用短波红外线加热器。与试图加热整个房间不同——那样既浪费时间又浪费能源——红...

可以看到，Micro LED晶圆在经过最终清洗后，会暂时放置在那里等待干燥。在生产线上，情况很容易出现变数。如果加热器的温度偏差哪怕只有几十分之一摄氏度，就会导致晶圆边缘出现水珠，光刻胶的图案也会变得不清晰，而这一切都发生在光刻过程开始之前。我们设计的Micro LED晶圆干燥器就是为了消除这些变...

在晶圆制造过程中，温度误差并非那种可以通过协商来控制的“容忍度”。在光阻软化处理过程中，哪怕只有0.5°C的温度偏差，就足以导致晶圆的关键尺寸出现偏差；而清洁后残留的微量水分，则会在后续的光刻工序中造成问题。对流式烤箱能够有效解决温度波动及批次间的差异问题。红外加热则是一种更理想的方式，但前提是必...