为何应停止在洁净室推车上使用强制通风方式
如果您曾在半导体深度加工线工作过，那么您应该知道那种情况。大多数这类系统仍然依赖热空气循环来保持晶圆或基板的温度稳定。
这种方法确实有效，但效率低下。最大的问题在于“时间成本”——依靠对流加热的话，就不得不等待空气渗透到工件上，这个过程似乎永远都结束不了。每次都会浪费几分钟的时间，而在这个行业里，时间就是一切。
解决方案：红外线技术
采用红外线技术则完全改变了这一状况。无需先加热空气，红外线可以直接作用于目标物体。基本上，它能够实现即时加热效果。将这种技术应用在洁净室推车上后，那些令人烦恼的预热时间就消失了。这样一来，设备的启动时间可以从几分钟缩短到几秒钟。如果您希望提高生产效率，那这就是一个绝佳的解决方案。
如何在实际环境中应用
当然，不能简单地给推车装上一个加热器就行了。还需要合理控制热量分布。我们通常会使用短波红外线发射器，因为它们能更深入地作用于材料，且调整功率时反应更快。不过，还需要有稳定的PID控制器来确保一切正常——毕竟没人希望意外烧毁基板。
另一个优点是，红外线设备的体积远小于那些笨重的鼓风系统，这样就能节省一些空间。
需要权衡的缺点
我不会说红外线技术毫无缺点。它也有自己的局限性。由于这是一种需要直射光线的技术，因此可能会出现“冷点”。如果工件的形状复杂，那么热量可能无法均匀地覆盖到各个角落。这时就需要花费些时间来调整灯具的位置或使用反射器来让热量均匀分布在工件上。
另外，高功率的红外线灯会消耗大量电流，因此必须确保推车的电源系统和电缆能够承受如此大的负荷。否则，就会导致电压下降，从而让控制器出现故障，这可不是我们希望看到的情况。