半导体洁净室推车式加热器

为何应停止在洁净室推车上使用强制通风方式 如果您曾在半导体深度加工线工作过，那么您应该知道那种情况。大多数这类系统仍然依赖热空气循环来保持晶圆或基板的温度稳定。 这种方法确实有效，但效率低下。最大的问题在于“时间成本”——依靠对流加热的话，就不得不等待空气渗透到工件上，这个过程似乎永远都结束不了。...