真空対応の赤外線ヒーター

ファブ内での炭素排出を削減する：なぜ真空型赤外線ヒーターが有効なのか 半導体を製造するには、さまざまな要素のバランスを取る必要があります。極端な高温が必要ですが、ウェーハが損傷しないように、真空状態で加熱する必要があります。長年にわたり、抵抗加熱が使われてきましたが、正直なところ、これは効率が悪い...